激光划线机P1 P2 P3

红外纳秒激光器

红外；1064nm；功率≥30W；脉冲宽度2ns-500ns可调；
     激光寿命＞20000小时

绿光皮秒激光器

绿光；532nm；功率＞15W@1MHZ； 脉冲宽度＜12ps；
     激光寿命＞20000小时

XY轴速度及加速度

速度1000mm/s； 加速度1.0G

识别定位精度

±2μm

重复定位精度

±1μm

刻线平行度

＜10μm/m

线宽

20μm＜P1＜30μm（含热影响区域）
   30μm＜P2＜50μm（含热影响区域）
   20μm＜P3＜30μm（含热影响区域）

线间距

P1-P2: 20μm~30μm可调（P1/P2线内侧）
     P2-P3: 20μm~30μm可调（P2/P3线内侧）