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13556305903
采用超快激光脉冲对玻璃基板进行直接钻孔。自主研发时空整形贝塞尔加工头，实现激光能量更集中、聚焦光斑更小、作用距离更长的真零级衍射极限光斑，解决了TGV通孔成型技术难点，具备高深径比、小间距、侧壁光滑、垂直度好、低成本等特点。
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● 超快激光脉冲加工
● 可加工通孔、盲孔、异型孔、单孔、集群阵列孔
● 微孔真圆度高，锥度（腰径比）可调
● 通孔侧壁光洁度 ≤150nm
● 行业内最高的深径比 200:1
● 支持DXF图形导入，最大可导入1亿孔的图档，AI算法自动规划最优加工路径
● 10000孔/秒的超快加工速度
● 适应无碱玻璃、铝硅玻璃、熔融石英、合成石英等不同材质
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设备型号 |
G6006 |
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平台精度 |
重复精度2um ，定位精度±5um@20 ±1℃ |
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平台运行速度 |
运行速度1000mm/s,最大速度2000mm/s |
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平台运行加速度 |
运行加速度2G ，最大加速度4G |
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打孔效率 |
常规5000孔/秒 ，最大10000孔/秒 |
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孔径尺寸 |
2 -200um±100nm |
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内壁光洁度 |
100nm |
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孔锥度 |
90±15 ° , 锥度精度±0.2 ° |
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平台切割范围 |
510mm* 515mm |
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加工玻璃厚度 |
30um -2mm |
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经深比 |
常规1:50 最大1:150 |
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适应产品 |
玻璃晶圆 ，微流控芯片 ，MEMS， 5G射频 ，传感器 |
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适应材质 |
蓝宝石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
