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◆ 流体精密闭环控制：高精度计量泵 + 精密狭缝模头，闭环流体控料；
◆ 宽粘度适配：1~2000cP，兼容PR、PSPI 、AL、RL；
◆ 大面积连续平面成膜：310~600mm 方形面板，支持翘曲；
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技术规格参数 |
标准值 |
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基板尺寸 |
310×310mm；515×510mm；600×600mm |
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基板类型 |
玻璃/不锈钢/EMC |
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对应翘曲 |
≤7mm |
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基板厚度 |
0.2-1.1mm |
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上下料方式 |
手动/自动 |
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湿膜厚度 |
5~25um |
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涂布均匀性 |
≤5%（视药液情况而定） |
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涂布有效区 |
除边10mm |
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粘度范围 |
1~2000cp |
