激光诱导蚀刻系统

每秒可加工孔10000个。玻璃厚度0.2mm-3mm，最小孔径 10um@0.5mm,孔深比1：50。

本设备适用TGV玻璃过孔激光诱导蚀刻。广泛应用于MEMS传感器，高密度封装，射频封装，屏下摄像头。