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13556305903
从超薄 0.2mm 到 厚料 2mm 加工，从 4inch 小尺寸到 12inch 大规格适配，AR 激光切割设备以 “精准、高效、洁净” 的核心优势，完成光学镜片的精密切割。
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13556305903
本设备主要实现激光精密切割、裂片, 加工材料涵括SI、SiC、InP、GaAs、GaN、蓝宝石衬底晶圆、玻璃晶圆、蓝宝石玻璃镜片等各种玻璃。
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序号 |
项 目 |
技术参数 |
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1 |
精度 |
重复定位精度≤±2μm，定位精度≤±3μm @25℃±1℃ |
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2 |
切割/裂片范围 |
4”~12”晶圆 |
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3 |
切割裂片速度 |
50-200mm/s |
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4 |
崩边效果 |
≤10um |
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5 |
切割/裂片厚度 |
玻璃: 0.2~2.2mm |
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6 |
机器控制系统软件 |
LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
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7 |
电力需求 |
380V/50Hz/10KVA |
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8 |
设备总重 |
3300Kg |
