滤光片全自动隐切机

本设备为全自动化生产,用于滤光片的隐形切割,兼具高效率、高强度与高可靠性,可兼容 4~10 寸晶圆 的生产。


咨询热线:
13556305903

设备简介

图片4.png

0.21mm无损切割效果


图片3.png
0. 11mm无损切割效果




应用领域
   适用于白玻璃、蓝玻璃、玻璃晶圆、钢化玻璃等材料隐切加工。兼顾高效率高强度高可靠性。产品通用4~10寸晶圆生产。

设备特点

    ① 采用高端绿光皮秒激光器,独特的光学整形技术,形成无损隐形切割效果;

    ②采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台,工艺效果稳定;

    ③配备自动跟随系统,切割深度随片厚实时调整,可兼容±10μm片厚误差;

    ④配备光学自动对焦或激光自动对焦系统; 

    ⑤可配CCD携带红外成像系统,具备正、背切功能;



设备参数

项 目

参数

绿光皮秒隐切激光器

品牌:国神  型号:GS-PNG05-S1

波长

532nm

BRUST

1-10个脉冲/

脉冲宽度

≤15ps

偏振方向

水平偏振

平均功率

5W

功率稳定性

2%

脉冲稳定性

2%

出光口光斑大小

2mm±0.3mm

光斑圆度

>90%

光束质量M2

<1.2

发散角

<0.8

切割模组

直线电机

切割头焦深

1.5um±0.5um

 切割头入射光斑大小

5-8mm

 切割头工作距离

8-10mm

切割头理论聚焦光斑大小

1um