EN
0755-28121199
● 激光在线能量实时监测
● 4台激光器同步工作
● 隐裂NG前端剔料
● CCD自动矫正定位
● 智能反馈
● 运行稳定,便于维修
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项目 |
技术参数 |
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设备型号 |
G6009 |
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激光器 |
1064nm 5W ≤10ps |
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激光寿命 |
≥20000小时 |
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平台精度 |
重复精度±0. 5um ，定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
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平台运行速度 |
运行速度800mm/s ，最大速度1000mm/s |
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平台运行加速度 |
运行加速度1.8G ，最大加速度2. 5G |
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平台切割范围 |
300* 300mm |
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适应产品尺寸 |
4 -8寸晶圆 |
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适应材质 |
蓝宝石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
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控制及软件 |
LASER STUDIO ，集成视觉 、激光和运动 |
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设备重量 |
2500kg |