Topcon SE激光掺杂设备

TOPCon S E激光掺杂设备是 一 种通过激光掺杂保持前表面金属化区域高的掺杂浓度, 推进结深 , 降低接触电阻 , 提升转换效率 。



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0755-28121199

设备简介

Topcon SE激光掺杂设备-.jpg



应用领域


设备特点

● 智能识别和追溯

● 高兼容性

● 高精度矫正、高精度划线

● 高纯度无损掺杂

● 光电转换效率高

● 运行稳定,便于维修




设备参数

设备型 号

G8003

激光器

>100W; 稳定性 < 2%RMS;衰减1年  < 5% , 2年 < 10%

激光寿命

> 20000小 时

光斑尺 寸

80 ~100 um

振镜重复精度

±10u m

最大扫描速度 > 50 m/s

适用 硅片 尺寸

182 *182mm - 230 * 230 mm

产 能

182尺寸 > 9000片/小时  (  栅线数量 < 132)  ;

210尺寸 > 7500片/小时  (  栅线数量 < 152 )

划线光斑尺寸

90*90 ± 5u m ,   ( 80 ~ 100 um可调  )

视觉定位精度

±15um

碎片检测尺寸

> 0 . 5 m m * 0 . 5 m m