EN
13556305903
🔹 全自动激光多焦点隐形切割
🔹 斜裂检测 ，自动间距修正
🔹 光斑多次整型，加工直线度好，斜裂角小
🔹 位移传感器反馈信号，通过压电陶瓷电机控制，实现亚微米级加工精度
🔹 采用高端激光器，独特的光学整形技术。形成无损隐形切割效果，崩边≤10um
🔹 采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台，工艺效果稳定
🔹 配备自动跟随系统，切割深度随片厚实时调整，可兼容±10μm片厚误差
🔹 配备光学自动对焦或激光自动对焦系统
🔹 可配CCD携带红外成像系统，具备正、背切功能
🔹 电性能优良
项 目 | 技术参数 |
激光器 | 5w红外皮秒 |
工件尺寸 | φ 300 |
X轴行程 | 320mm |
X轴加速度 | 2G |
X轴最大速度 | 1 ～ 2000mm/sec |
X轴重复定位精度 | ≤±1μm |
X轴解析度 | 0.1μm |
Y轴行程 | 320mm |
Y轴加速度 | 1G |
Y轴最大速度 | 1 ～ 1000mm/sec |
Y轴重复定位精度 | ≤±1μm |
Y轴解析度 | 0.1μm |
Z轴行程 | 50mm |
Z轴重复定位精度 | ≤±1μm |
Z轴解析度 | 0.1μm |
θ轴旋转角度 | 120° |
θ轴 解析度 | 0.1μm |
机器控制系统软件 | LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
电力需求 | AC380V/50Hz/4.5KVA |
设备总重 | 2500Kg |
