EN
13556305903
🔹 全自动激光多焦点隐形切割
🔹 斜裂检测 ，自动间距修正
🔹 光斑多次整型，加工直线度好，斜裂角小
🔹 位移传感器反馈信号，通过压电陶瓷电机控制，实现亚微米级加工精度
🔹 采用高端激光器，独特的光学整形技术。形成无损隐形切割效果，崩边≤10um
🔹 采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台，工艺效果稳定
🔹 配备自动跟随系统，切割深度随片厚实时调整，可兼容±10μm片厚误差
🔹 配备光学自动对焦或激光自动对焦系统
🔹 可配CCD携带红外成像系统，具备正、背切功能
🔹 电性能优良
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项 目 |
技术参数 |
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激光器 |
5w红外皮秒 |
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工件尺寸 |
φ 300 |
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X轴行程 |
320mm |
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X轴加速度 |
2G |
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X轴最大速度 |
1 ～ 2000mm/sec |
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X轴重复定位精度 |
≤±1μm |
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X轴解析度 |
0.1μm |
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Y轴行程 |
320mm |
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Y轴加速度 |
1G |
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Y轴最大速度 |
1 ～ 1000mm/sec |
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Y轴重复定位精度 |
≤±1μm |
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Y轴解析度 |
0.1μm |
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Z轴行程 |
50mm |
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Z轴重复定位精度 |
≤±1μm |
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Z轴解析度 |
0.1μm |
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θ轴旋转角度 |
120° |
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θ轴 解析度 |
0.1μm |
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机器控制系统软件 |
LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
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电力需求 |
AC380V/50Hz/4.5KVA |
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设备总重 |
2500Kg |
