晶圆切割机受效果影响的三大因素

技术资讯 | 发布时间 : 2022-01-07 返回列表
晶圆切割机受效果影响的三大因素

1平行度。

假如主轴程度不契合请求,晶圆切割机切割后的刀槽会变宽,边缘会严重坍塌。例如,NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圆,主轴转速3万r/min、划切速度20mm/s时间。理想的刀痕为0.030~0.035mm,当主轴打表程度等于5时μm实测刀痕为0.045mm。


2垂直度。

晶圆切割机假如切割后工件的刀槽一侧坍塌,裂纹严重,另一侧正常,通常由于主轴垂直度缺乏,可依据坍塌边缘肯定主轴的仰角或俯角


3.主轴速度。

晶圆切割机主轴速度匹配切割速度,影响切割效果是主轴速度,理论上增加主轴速度,进步切割速度,确保固定线速度不影响切割效果,但不同速度范围内的主轴振动不同,需求找到最佳组合点,在保证切割效果的前提下进步效率。注:选择主轴速度时,留意工具最大速度,如DISCO的PIA直径50的系列刀具mm(2寸)刀盘时,最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盘时,最高速度<40000r/min。刀具在超越允许的最高速度时会自动崩溃。