晶圆切割机的切割方法

技术资讯 | 发布时间 : 2023-08-02 返回列表

  目前,晶圆切割机硬脆材料的切割技术主要有外圆切割、内圆切割和线铭切割。外圆切割组然操作烦琐,但据片刚性差,切割过程中锯片易跑偏.招致被切割工们的平行度差:而内圆切割只能停止直线切割.无法停止曲面切割.线锯切割技术具有切缝窄、效率高、切片质量好、可停止曲线切别等优点成为口前普遍采用的切割技术。

晶圆切割机

  晶圆切割机内圆切割时晶片外表损伤层大,给CMP带来很大黔削抛光工作最:刃口宽.资料损失大.品片出率低:成木高。消费率低:每次只能切割一片.当晶圆直径到达300mm时.内圆刀片外径将到达1.18m.内径为410mm.在制造、装置与调试上带来很多艰难.故后期主要开展线切别为主的晶圆切割技术。


  晶圆切割机金刚石线锯足近十几年来取得快速开展的硬脆资料切割技术.包括自在助料线锯和固结磨料线锯两类。依据锯丝的运动方式和机冰构造.又可分为往复式和单向(环形)线锯。


  目前在光电子工业中,运用最为普遍的是往复多线锯晶圆切割机。