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13556305903
采用超快激光脉冲对玻璃基板进行直接钻孔。自主研发时空整形贝塞尔加工头，实现激光能量更集中、聚焦光斑更小、作用距离更长的真零级衍射极限光斑，解决了TGV通孔成型技术难点，具备高深径比、小间距、侧壁光滑、垂直度好、低成本等特点。
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该设备专注于在玻璃材料上实现高精度、高密度的微米级通孔、盲孔及异形孔结构加工，满足高性能封装中的严苛要求。适用于：三维异构集成及先进封装、新型显示、5G/6G高频射频模块、MEMS等领域
● 超快激光脉冲加工
● 可加工通孔、盲孔、异型孔、单孔、集群阵列孔
● 微孔真圆度高，锥度（腰径比）可调
● 通孔侧壁光洁度 ≤150nm
● 行业内最高的深径比 200:1
● 支持DXF图形导入，最大可导入1亿孔的图档，AI算法自动规划最优加工路径
● 10000孔/秒的超快加工速度
● 适应无碱玻璃、铝硅玻璃、熔融石英、合成石英等不同材质
| 项目 | 技术参数 |
| 设备型号 | G6006 |
| 平台精度 | 重复精度±1um ，定位精度±2um@22 ±1℃ |
| 平台运行速度 | ≤1000mm/s |
| 平台运行加速度 | ≤10000mm/s² |
| 打孔效率 | 最大10000孔/秒 |
| 孔径尺寸 | 2 -200um |
| 最小孔径尺寸 | 1.5um |
腰径比 | 60% - 95% 可调 |
| 孔位置精度 | ±5μm/加工区域 |
| 内壁光洁度 | 100nm |
| 孔锥度 | 0-10°可调 |
| 圆度 | ≥95% |
| 崩边热影响区 | ≤5μm/石英 |
| 平台切割范围 | 510mm* 515mm和12寸晶圆可选，最大可支持730mm*920mm |
| 加工玻璃厚度 | 0.2-1.5mm |
| 深径比 | 常规50：1；最大200：1 |
| 激光器功率 | 20W |
| 激光功率稳定性 | 0.5% (RMS>100 Hr) |
| 激光脉冲能量稳定性 | 0.5% (RMS>24Hr) |
| 激光器波长 | 1030±10nm |
| 脉冲能量 | 400μJ |
| 工作频率 | 1Hz-1000kHz可调 |
| 脉冲宽度 | 300fs-10ps可调 |
| 激光光束质量 | M2<1.2 |
| 激光光斑直径 | 4.0±0.5mm |
| 激光发散角 | <20µrad/℃ |
| 配置校准相机 | 像素≥500万 |
| 配置调焦相机 | 像素≥130万 |
| 具备自动调焦及反馈功能 | 自动对焦精度≤±2μm |
| 适应产品 | 玻璃晶圆、玻璃基板 |
| 适应材质 | 无碱玻璃、铝硅玻璃、熔融石英、合成石英等 |
深圳市圭华智能科技有限公司（简称：圭华智能）是从事玻璃打孔、玻璃切割、TGV 激光钻孔的厂家，是一家专注于高端超快激光工艺、激光系统、激光设备研发、生产与销售的企业。公司主营激光玻璃切割机、激光隐形切割机、UTG 激光裂片切割机、碳纤维紫外皮秒激光切割机、滤光片激光切割机、车镜激光切割机、FPC 激光切割机、TFT 激光切割机、晶圆切割机、晶圆劈裂机、激光钻孔机、PVD 除膜机等，并可提供非标定制服务，产品畅销深圳、东莞等全国各地。在超快激光空间调制 、激光微加工工艺 、微米级运动平台控制等领域具有深厚的技术积累 ， 是国家专精特新 "小巨人 " 企业和国家高新技术企业 。
圭华智能注重前沿技术的开发和研究，已获知识产权授权数累计百余项，获批广东省超快激光微纳制造装备与工艺工程技术研究中心、广东省智能制造生态合作伙伴及深圳市龙华区中小微创新100强企业、并与南方科技大学联合承办了精密制造与芯片先进封装实验室。全自主研发的产品广泛应用于光伏 、新型显示及半导体、消费电子等领域。
