晶圆切割机的操作规程:
1、事先贴上绿膜或者其他蓝膜,并将产品放置在固定的位置。
2、放置在工作台并摆正好。
3、进入自动识别抓取两点,并进行自动识别。
4、鉴定完后进行切割。
晶圆切割机的注意事项:
1、测量高度时,在工作台上不得有任意物体;
2、在晶圆切割机切割前检查参数选择是否正确;
3、晶圆切割机更换刀片时检查刀片转动是否顺畅;
4、当工作人员不在现场的时候,需要关闭主轴并锁定屏幕;
5、下班后关闭水、气、电,检查机械是否正常;
6、在切割时或主轴旋转时,不允许人员进入机械内;
7、法兰和拆刀法兰、刀片、工作盘的时候需要小心轻放,如有污物,请用酒精无尘布进行擦拭。
8、工作人员在进行切割工作时,进行切割的工作人员需要完成切割。
9、切割前检查气压计和流量计是否正常。
10、更换刀片时,主轴刀片停止转动时才能够打开气闸。
11、对焦的时候,注意Z轴不要碰到T轴。
12、检查工作盘下的定位环是否对齐。
13、基地里没有异物。
晶圆切割机的问题处理:
1、如果测高减小值超过极限,请联系制造商修改参数。
2、如果切割过程中因气、水中断而被迫停止切割,需要立即停止,然后重新初始化。
3、如果传感器信号不良,需要用无尘布擦拭玻璃两面(保持感应值在90)。
4、如果工件真空有异常噪音,需要重新贴膜。
5、如果每个轴感觉移动太慢,可以在运动控制中修改运动参数。
6、如果陶瓷板切割异常,可以使用绿膜参数切割绿膜,查看是否有异常。
7、如果软件卡住了,就可以重启软件。
8、如果触摸屏幕点错了,就可以在电脑里重新设置触摸点。
9、如果高度测量和切割的时候出现问题,需要及时按下软急停开关Z轴就会将高度提高。
10、如果在高度测量过程中位置错误,需要联系制造商进行修改高度测量参数。