晶圆切割机的操作以及注意事项

技术资讯 | 发布时间 : 2023-08-09 返回列表

晶圆切割机的操作规程:

1、事先贴上绿膜或者其他蓝膜,并将产品放置在固定的位置。

2、放置在工作台并摆正好。

3、进入自动识别抓取两点,并进行自动识别。

4、鉴定完后进行切割。


晶圆切割机的注意事项:

1、测量高度时,在工作台上不得有任意物体;

2、在晶圆切割机切割前检查参数选择是否正确;

3、晶圆切割机更换刀片时检查刀片转动是否顺畅;

4、当工作人员不在现场的时候,需要关闭主轴并锁定屏幕;

5、下班后关闭水、气、电,检查机械是否正常;

6、在切割时或主轴旋转时,不允许人员进入机械内;

7、法兰和拆刀法兰、刀片、工作盘的时候需要小心轻放,如有污物,请用酒精无尘布进行擦拭。

8、工作人员在进行切割工作时,进行切割的工作人员需要完成切割。

9、切割前检查气压计和流量计是否正常。

10、更换刀片时,主轴刀片停止转动时才能够打开气闸。

11、对焦的时候,注意Z轴不要碰到T轴。

12、检查工作盘下的定位环是否对齐。

13、基地里没有异物。

晶圆切割机.jpg

晶圆切割机的问题处理:

1、如果测高减小值超过极限,请联系制造商修改参数。

2、如果切割过程中因气、水中断而被迫停止切割,需要立即停止,然后重新初始化。

3、如果传感器信号不良,需要用无尘布擦拭玻璃两面(保持感应值在90)。

4、如果工件真空有异常噪音,需要重新贴膜。

5、如果每个轴感觉移动太慢,可以在运动控制中修改运动参数。

6、如果陶瓷板切割异常,可以使用绿膜参数切割绿膜,查看是否有异常。

7、如果软件卡住了,就可以重启软件。

8、如果触摸屏幕点错了,就可以在电脑里重新设置触摸点。

9、如果高度测量和切割的时候出现问题,需要及时按下软急停开关Z轴就会将高度提高。

10、如果在高度测量过程中位置错误,需要联系制造商进行修改高度测量参数。