
①采用前部绿光皮秒激光切割,形成全切效果;
②采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台,工艺效果稳定;
③配备自动跟随系统,切割深度随片厚实时调整,可兼容±10μm片厚误差;
④配备光学CCD进行精准对位;
⑤兼容裸玻璃和钢圈加工;
项 目 | 技术参数 |
加工尺寸 | 300*300mm |
X轴行程 | 600mm |
X轴加速度 | 1G |
X轴最大速度 | 1 ~ 1000mm/sec |
X轴重复定位精度 | ≤±3μm |
X轴解析度 | 0.1 μm |
Y轴行程 | 800mm |
Y轴加速度 | 1G |
Y轴最大速度 | 800~1000mm/sec |
Y轴重复定位精度 | ≤±3μm |
Y轴解析度 | 0.1 μm |
Z轴行程 | 40mm |
Z轴重复定位精度 | ≤±5μm |
机器控制系统软件 | LASER STUDIO,集成视觉、激光和运动 |
电力需求 | AC380V/50Hz/7KVA |
设备总重 | 3000Kg |