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13556305903
🔹 激光功率实时监控
🔹 来料CCD自动检测及剔除
🔹 稳定提效
🔹 电流电压实时监控
🔹 机台360全时监控
🔹 运行稳定，便于维修
| 项目 | 技术参数 |
| 设备型号 | G9008 |
| 激光器 | ＞100w，稳定性＜2% RMS |
| 使用寿命 | ＞20000小时 |
| 适用硅片尺寸 |
182*182mm-230*230mm |
| 单晶碎片率 | ≤0.015%@18x±0.5*18x±0.5,≤0.02%@210±0.5*210±0.5 |
| 激光器扫扫描定位精度 | ±15um |
| 绝对效益增益 | ≥0.35%（不低于同行最优水平） |
| 划线光斑尺寸 | 面扫 光斑大小：1-1.2mm |
| 产量 | 匹配丝印工序产能，基于硅片尺寸：18x±0.5mm*(18x±0.5mm-210mm),单台机产能＞9600片/小时，CT＜0.75s,基于硅片尺寸：210±0.5mm*210±0.5mm,CT＜0.8s. |
