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13556305903
设备尺寸:1800x1800x2200mm(LxWxH，不含警示灯)
Equipment size: 1 800x1 800x2200mm(LxWxH, Excluding warning lights )
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13556305903
● 超精检测能力
● 快图形处理能力
● 智能拟合原图，权检测路经最优最短化
● 高精TDI万兆线阵CCD算法功能强大
● 人性化设计，操作简便
● 智能自动统计：坐标、半径、偏位、缺失、大小点及CPK等
项目 | 技术参数 |
| 检测范围 | 920mm*730mm 510mm*515mm和12寸晶圆可选 |
| 定位精度 | ±2um |
| 重复定位精度 | ±1um |
| 相机分辨 | 1um |
| 控制软件 | LASER STUDIO集成视觉 |
| 设备噪音 | ≤78 dB |
| 无尘等级 | Class 1000 |
| 环境要求 | 常温(19~26℃)，RH%=40~80% |
| 设备能耗 | 380v/50Hz/2.5KVA |
