晶圆切割机出现崩边的原因分析

技术资讯 | 发布时间 : 2023-10-17 返回列表

晶圆切割机主要是使用金刚石砂轮刀片,但是在这个行业飞速发展的今天,相关从业者也在尝试新的技术和方法,从此提高整体的加工质量以及效率。目的还是在于提高整体的加工处理效率和工作质量,从而更好地促进该行业的快速发展。那么在晶圆切割机的过程中出现崩边的原因有哪些呢?

晶圆切割机.jpg

表面崩边

出现这样子的现象,总共可以分为三种类型:一是初期阶段,主要是指刀片的桩基和切割阶段的产品表面出现了崩缺的现象,出现这样的原因有三个方面:刀片安装存在倾斜以及刀片并没有修成真圆,以及金刚石并没有完全暴露出来,也没有产生容削槽;反复循环,出现这种情况的主要原因是因为刀片表面受到了较大的冲击,以及出现大尺寸金刚石存在凸起的现象,在刀片外表面富含杂质;其他工件存在移位变形的可能,以及速度和切割深度存在不一致。


晶圆崩边的解决方法

在初期要详细检查刀片的安装精度问题,技术人员还要做好刀片同心度的休整,以及重新进行预切割。循环,有必要详细检查刀片表面是否有废料的冲击痕迹,如果在肉眼无法观察的情况下,就需要用显微镜详细观察刀片表面是否存在有颗粒物以及义务粘连;对于其他的,对此就需要在贴膜后提高烘烤温度和时间,要根据工件的材质调整其合适的工艺参数。


总而言之,晶圆切割机出现崩边的原因有很多,对此就需要根据具体问题进行详细分析,才能够找出症结的所在。