● 超高的加工精度
● 斜裂方向检测,防止误切割
● 多焦点切割,裂片直线度好,极小的斜裂角
● 侧壁光滑,产品电测性能好
● 适应4-8寸Mini LED晶圆
● 运行稳定, 便于维修
项目 |
技术参数 |
设备型号 |
G6002 |
激光器 |
1064nm 5W ≦10ps |
激光寿命 |
≧20000小时 |
平台精度 |
重复精度±0.5um,定位精度±1um@20℃±1℃ |
平台运行速度 |
运行速度800mm/s,最大速度1000mm/s |
平台运行加速度 |
运行加速度1.8G,最大加速度2.5G |
平台切割范围 |
300*300mm |
适应产品尺寸 |
4-8寸晶圆 |
适应材质 |
蓝宝石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm |
控制及软件 |
LASER STUDIO,集成视觉、激光和运动 |
设备重量 |
2500kg |