针对Mini LED,Micro OLED、硅基Micro Oled等微小像素亮点修复,采用飞秒红外激光器,电动可调狭缝,共轭光路,WDI焦点跟随装置,AOI图像识别等技术。
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● 光斑形状矩形、长条、方形、菱形、圆形可设定
● 最小光斑尺寸1um以下
● 镜头倍数2X-50X自动切换
● 自动AOI识别缺陷
● 手动、半自动、自动三种工作模式
● 支持图形绘制修复模式
● 支持组网支持MES系统。
设备型号 | G6011 | |
激光器 | 50uj@1030nm, 300fs, 5w,0 - 1000kHz | |
平台精度 | 重复精度±0. 5um,定位精度±1um@20℃ ±1℃ | |
平台运行速度 | 运行速度100mm/s,最大速度1000mm/s | |
平台运行加速度 | 运行加速度1.8G,最大加速度2. 5G | |
修复范围 | 300* 300mm | |
电动狭缝 | 0 -2. 5mm ,步距0. 1um, ±45±1°可调 | |
WDI | 响应时间最快50us | |
相机 | 2000W像素 | |
自动对焦时间 | 3s | |
镜头切换 | 0. 5S | |
AOI时间 | 5s/3亮点平方英寸 | |
修复像素形状 | 条形 、矩形 、方形 、菱形 、 圆形 、多边形 | |
修复产品 | Micro LED, Micro OLED HD, FHD,QHD, UHD 亮点修复 |