TGV 化学湿法蚀刻设备

● 全自动智能生产：

集成先进的蚀刻系统、自动循环系统、喷淋系统、加热系统及超声波清洗系统、蚀刻液无氟，安全环保，专利配方

● 蚀刻液无消耗，恒定浓度蚀刻，直径和厚度尺寸与理论值一致

● 工艺窗口宽，蚀刻液浓度温度不敏感，一致性好

● 蚀刻后表面粗糙度基本不变

● 满足无氟安全环保、低成本、高效率、高量产需求

工艺流程

◆ 上料

◆ 蚀刻

◆ 浸泡⽔洗

◆ 蚀刻

◆ 浸泡⽔洗

◆ 浸泡酸洗

◆ 浸泡⽔洗

◆ 慢提拉

◆ 烘⼲

◆ 下料

项目	技术参数
加工尺寸	920mm*730mm 515mm*510mm晶圆级
孔径大小	＞1.5um