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● 蚀刻液无消耗,恒定浓度蚀刻,直径和厚度尺寸与理论值一致
● 温控窗口宽,蚀刻液浓度温度不敏感,一致性好
● 蚀刻后表面粗糙度基本不变
● 满足无氟安全环保、低成本、高效率、高量产需求
工艺流程
◆ 上料
◆ 蚀刻
◆ 浸泡⽔洗
◆ 蚀刻
◆ 浸泡⽔洗
◆ 浸泡酸洗
◆ 浸泡⽔洗
◆ 慢提拉
◆ 烘⼲
◆ 下料
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项目 |
技术参数 |
| 加工尺寸 | 515*510mm,920*730mm 和12寸晶圆可选 |
| 孔径大小 | >1.5um |
地址: 深圳市龙华区大浪街道大浪社区同富屯工业区98号
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