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项目 | 技术参数 |
| 检测范围 | 920mm*730mm 510mm*515mm和12寸晶圆可选 |
| 定位精度 | ±2um |
| 重复定位精度 | ±1um |
| 相机分辨 | 1um |
| 控制软件 | LASER STUDIO集成视觉 |
| 设备噪音 | ≤78 dB |
| 无尘等级 | Class 1000 |
| 环境要求 | 常温(19~26℃),RH%=40~80% |
| 设备能耗 | 380v/50Hz/2.5KVA |
地址: 深圳市龙华区大浪街道大浪社区同富屯工业区98号
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