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采用超快激光器,热影响小,应对多种材料的超微小孔加工方面优势凸出 ;采用进口光学元件,质量可靠、功率损耗低;
CCD多种类标靶准确识别,自动涨缩补偿,确保加工精度;
对位精度≤±5μm,加工精度≤±5μm,适用mSAP、SAP工艺小孔的高对准度加工要求
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