EN
13556305903
◆ 玻璃
◆ 钙钛矿研发小线
◆ 低沸点易沸溶剂体系
设备特点
◆ 常温真空、无加热、慢速温和脱溶、无热应力
设备亮点
◆ 零形变、不伤基材 ◆ 膜面品质极佳
◆ 设备低成本低能耗 ◆ 工艺容错高
技术规格参数 | 标准值 |
VCD | |
基板尺寸 | G2-G8.6 |
腔体材质 | 不锈钢或者铝（表面处理） |
抽气速率 | 10s@10Pa（根据客户要求） |
蝶阀 | 进口或者国产优选（根据客户要求） |
应对翘曲 | / |
极限真空 | ≤1Pa |
干泵 | 进口或者国产优选（根据客户要求） |
加热温度 | / |
温度均匀性 | / |
控温方法 | / |
