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①采用前部绿光皮秒激光切割，形成全切效果；
②采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台，工艺效果稳定；
③配备自动跟随系统，切割深度随片厚实时调整，可兼容±10μm片厚误差；
④配备光学CCD进行精准对位；
⑤兼容裸玻璃和钢圈加工；
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项 目 |
技术参数 |
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加工尺寸 |
300*300mm |
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X轴行程 |
600mm |
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X轴加速度 |
1G |
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X轴最大速度 |
1 ～ 1000mm/sec |
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X轴重复定位精度 |
≤±3μm |
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X轴解析度 |
0.1 μm |
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Y轴行程 |
800mm |
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Y轴加速度 |
1G |
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Y轴最大速度 |
800～1000mm/sec |
|
Y轴重复定位精度 |
≤±3μm |
|
Y轴解析度 |
0.1 μm |
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Z轴行程 |
40mm |
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Z轴重复定位精度 |
≤±5μm |
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机器控制系统软件 |
LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
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电力需求 |
AC380V/50Hz/7KVA |
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设备总重 |
3000Kg |
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