激光打标机

本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。

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本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。

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技术参数



序号 项 目 技术参数 序号 项 目 技术参数
1 激光器 皮秒激光器 1 X轴行程 ≥300mm
2 波长 355nm 2 Y轴行程 ≥350mm
3 最大平均功率 ≥8W 3 Z轴行程 ≥100mm
4 脉冲宽度 ≤15ps 4 X、Y、Z轴单独重复定位 ±3μm
5 功率稳定性 ≤2%RMS 5 治具平面度 ≤15um
6 光斑直径 2.5mm±0.5mm 6 打标精度 ±0.05mm(mark定位)
±0.15mm(轮廓定位)
7 光斑圆度 >90% 7 打标速度 2000mm/s
8 最小光斑大小 20um 8 产品大小 6inch、 8inch
9 光束质量M2 M2<1.3 9 OCR系统 wafer ID识别率≥90%
10 光斑发散角 <0.8 10 材质 Si  Sio2
11 振镜 思特 紫外振镜,入瞳≤10mm 11 CCD 1200W *2套
12 振镜重复精度 <2urad 12 打标类型 SEMI标准 常规字体、数字、条码、二维码、含点阵法 (5*9mm,10*18mm),字体设置:标记字体可在SEMI字体基础上 进行放大或缩小,并且可随意更改字符信息,支持双模式打标:a、ID打标-晶圆边缘处 打印标识;b、DIE打标-晶圆上每颗芯片单独 打印标识。
13 场镜范围 45mm*45mm 13 点深度 1-3μm
14 激光器冷却 20±0.1°C,独立水冷 14 最小字高 0.15mm
15 工作环境 25°C±2°C 15 椭圆度 0.85-1.15
16 激光器寿命 ≥20000H 16 字符偏斜 <1°
17 机器控制系统软件 LASER STUDIO,集成视觉、激光和运动
18 MES 支持上传MES功能
19 设备尺寸 L 1550 X W1450 X H1900mm
20 电力需求 AC 380V/50Hz/ 6KW
21 设备总重 2500Kg



本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。
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FAQ


晶圆劈裂机设备用于晶圆激光划片后的裂 片工序,全自动化生产,能对镜面、 粗化、PSS 等晶片,背镀金属、DBR 芯片工艺的晶片自动识别并运行, 裂片良率保证在98%以上。

针对大幅面透明脆性材料而开发的切割设备,切割范600mm*700mm。

    本设备主要用于PCB线路板开孔应用,具备全自动上下料与自动翻转设计,采用双平台双头CO2激光对产品正反面进行精密钻孔,具有高速、高精度、兼顾高性价比特点;

本设备是针对钛合金产品进行精密切割、裂片而开发,采用高功率光纤激光,实现非接触式精密切割,切口平整、热变形小,可稳定加工各类钛合金板材与异形件。


针对碳纤维材料而研发的切割设备,对碳纤维,玻纤,凯夫拉,等复合材料的切割,打孔,开槽,可切割厚度0.05-1毫米,显示背板;手机背壳;AR眼镜外壳等。


本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。