Mini LED晶圆隐切设备

本设备实现蓝宝石衬底 Mini LED 背光晶圆隐形切割,在晶圆内部形成微裂纹;后续经劈裂处理,整片晶圆可裂片为微米级 Mini LED 背光芯片,可用于电视、显示器、平板电脑的 Mini LED 背光板。

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Mini LED晶圆隐切设备
Mini LED晶圆隐切设备
Mini LED晶圆隐切设备

目前超 90% 的 Mini LED 芯片采用蓝宝石衬底;蓝宝石硬度大,脆性较强。隐形切割工艺通过特定激光聚焦至晶圆内部,仅在材料内部形成微裂纹,晶圆表面保持完整。

🔹   全自动激光多焦点隐形切割

🔹   斜裂检测 ,自动间距修正

🔹   光斑多次整型,加工直线度好,斜裂角小

🔹   位移传感器反馈信号,通过压电陶瓷电机控制,实现亚微米级加工精度

🔹   采用高端激光器,独特的光学整形技术。形成无损隐形切割效果,崩边≤10um

🔹   采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台,工艺效果稳定
🔹   配备自动跟随系统,切割深度随片厚实时调整,可兼容±10μm片厚误差

🔹   配备光学自动对焦或激光自动对焦系统

🔹   可配CCD携带红外成像系统,具备正、背切功能
🔹   电性能优良



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产品应用

适用于蓝宝石衬底晶圆,蓝宝石衬底 Mini LED 背光晶圆
样品展示

Mini LED晶圆隐切机-.jpg
技术参数

项 目

技术参数

激光器

5w红外皮秒

工件尺寸

φ 300

X轴行程

320mm

X轴加速度

2G

X轴最大速度

1 ~ 2000mm/sec

X轴重复定位精度

≤±1μm

X轴解析度

0.1μm

Y轴行程

320mm

Y轴加速度

1G

Y轴最大速度

1 ~ 1000mm/sec

Y轴重复定位精度

≤±1μm

Y轴解析度

0.1μm

Z轴行程

50mm

Z轴重复定位精度

≤±1μm

Z轴解析度

0.1μm

 θ轴旋转角度

120°

 θ轴 解析度

0.1μm

机器控制系统软件

LASER STUDIO,集成视觉、激光和运动

电力需求

        AC380V/50Hz/4.5KVA

设备总重

 2500Kg


本设备用于Mini Led 晶圆的隐形切割
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FAQ


晶圆劈裂机设备用于晶圆激光划片后的裂 片工序,全自动化生产,能对镜面、 粗化、PSS 等晶片,背镀金属、DBR 芯片工艺的晶片自动识别并运行, 裂片良率保证在98%以上。

针对大幅面透明脆性材料而开发的切割设备,切割范600mm*700mm。

    本设备主要用于PCB线路板开孔应用,具备全自动上下料与自动翻转设计,采用双平台双头CO2激光对产品正反面进行精密钻孔,具有高速、高精度、兼顾高性价比特点;

本设备是针对钛合金产品进行精密切割、裂片而开发,采用高功率光纤激光,实现非接触式精密切割,切口平整、热变形小,可稳定加工各类钛合金板材与异形件。


针对碳纤维材料而研发的切割设备,对碳纤维,玻纤,凯夫拉,等复合材料的切割,打孔,开槽,可切割厚度0.05-1毫米,显示背板;手机背壳;AR眼镜外壳等。


本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。