狭缝涂布设备

本系统涵盖单龙门、双龙门两大系列,产品尺寸覆盖100mm×100mm至2400mm×1200mm,配套VCD(真空干燥)、HVCD(加热真空干燥)、HP(加热)、CP(冷却)等,涂布材料涵盖电子层、空穴层、发电层、钝化层、光刻胶(PR)、聚酰亚胺(PI)、感光聚酰亚胺(PSPI)、临时键合胶(TB)等关键材料,可实现从基板上料、 涂布、 干燥到固化的全流程一体化作业。

产品中心
狭缝涂布设备
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狭缝涂布设备
狭缝涂布设备

 涵盖单龙门、双龙门两大系列,产品尺寸覆盖100mm×100mm至2400mm×1200mm,配套VCD(真空干燥)、HVCD(加热真空干燥)、HP(加热)、CP(冷却)等,涂布材料涵盖电子层、空穴层、发电层、钝化层、光刻胶(PR)、聚酰亚胺(PI)、感光聚酰亚胺(PSPI)、临时键合胶(TB)等关键材料,可实现从基板上料、 涂布、 干燥到固化的全流程一体化作业。

产品加工尺寸:
半导体封装 太阳能光伏
600mmx600mm
510mmx515mm
310mmx310mm
2400mm×1200mm

1200mm×600mm

600mm×600mm

平板显示 研发机

G8.6 2290mm×2620mm

G6 1500mmx1850mm

G5 1100mmx1300mm

G4.5 730mmx920mm

G3.5 620mm×750mm

G3 550mm×650mm

300mm×400mm
200mm×200mm
100mm×100mm



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产品应用


  • 太阳能电池:钙钛矿电池、薄膜太阳能电池等核心功能层涂布

  • OLED/LCD/LED:显示面板核心功能层涂布

  • 半导体先进封装:半导体先进封装领域涂布工艺

  • UTG/3C消费电子:超薄玻璃、消费电子组件保护层、功能层涂布



样品展示


高精度狭缝涂布机、加热真空干燥(HVCD)炉及精准预固化(HP)炉的自动化生产线
10双龙门涂布.png HVCD.png HP涂布固化工艺设备.png
狭缝涂布设备 HVCD设备 HP设备
涂布材料:电子层、空穴层、发电层、钝化层、光刻胶(PR)、聚酰亚胺(PI)、感光聚酰亚胺(PSPI)、临时键合胶(TB)等关键材料
技术参数


1

产品尺寸

100mm*100mm-

2400mm*1200mm

2

基板厚度

0.3~2mm

3

干膜厚度

0.2-100um


平板狭缝涂布与干燥固化集成系统

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FAQ


晶圆劈裂机设备用于晶圆激光划片后的裂 片工序,全自动化生产,能对镜面、 粗化、PSS 等晶片,背镀金属、DBR 芯片工艺的晶片自动识别并运行, 裂片良率保证在98%以上。

针对大幅面透明脆性材料而开发的切割设备,切割范600mm*700mm。

    本设备主要用于PCB线路板开孔应用,具备全自动上下料与自动翻转设计,采用双平台双头CO2激光对产品正反面进行精密钻孔,具有高速、高精度、兼顾高性价比特点;

本设备是针对钛合金产品进行精密切割、裂片而开发,采用高功率光纤激光,实现非接触式精密切割,切口平整、热变形小,可稳定加工各类钛合金板材与异形件。


针对碳纤维材料而研发的切割设备,对碳纤维,玻纤,凯夫拉,等复合材料的切割,打孔,开槽,可切割厚度0.05-1毫米,显示背板;手机背壳;AR眼镜外壳等。


本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。