TGV 激光钻孔设备

本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

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TGV 激光钻孔设备
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TGV

本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

●  超快激光脉冲加工

●  可加工4-12寸晶圆;510*515mm;730*920mm

●  微孔真圆度高,锥度(腰径比)可调

●  通孔侧壁光洁度 ≤150nm

●  行业内最高的深径比  200:1

●  支持DXF图形导入,最大可导入1亿孔的图档,AI算法自动规划最优加工路径

●  10000孔/秒的超快加工速度


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产品应用

适用于:三维异构集成及先进封装、新型显示、5G/6G高频射频模块、MEMS等领域

样品展示

技术参数

项目 技术参数
设备型号 G6006
平台精度 重复精度±1um,定位精度±2um
平台运行速度 ≤1000mm/s
平台运行加速度 ≤10000mm/s²
打孔效率 最大10000孔/秒
孔径尺寸 2-200um内壁光洁度
腰径比 60%-95%可调
平台加工尺寸 510mm*515mm,最大可支持730mm*920mm
加工玻璃厚度 0.2-1.5mm
最大深径比 200:1
适应产品 玻璃晶圆、玻璃基板
适应材质 无碱玻璃、铝硅玻璃、熔融石英、合成石英等

最小孔径1.5um+最大深宽比200:1

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FAQ


晶圆劈裂机设备用于晶圆激光划片后的裂 片工序,全自动化生产,能对镜面、 粗化、PSS 等晶片,背镀金属、DBR 芯片工艺的晶片自动识别并运行, 裂片良率保证在98%以上。

针对大幅面透明脆性材料而开发的切割设备,切割范600mm*700mm。

    本设备主要用于PCB线路板开孔应用,具备全自动上下料与自动翻转设计,采用双平台双头CO2激光对产品正反面进行精密钻孔,具有高速、高精度、兼顾高性价比特点;

本设备是针对钛合金产品进行精密切割、裂片而开发,采用高功率光纤激光,实现非接触式精密切割,切口平整、热变形小,可稳定加工各类钛合金板材与异形件。


针对碳纤维材料而研发的切割设备,对碳纤维,玻纤,凯夫拉,等复合材料的切割,打孔,开槽,可切割厚度0.05-1毫米,显示背板;手机背壳;AR眼镜外壳等。


本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。