TGV 化学湿法蚀刻设备

采用无氟环保蚀刻药液,依托独家蚀刻配方,温控工艺窗口宽,药液使用寿命长、更换频次低,批量成孔稳定性佳,孔径支持按需精准调控。

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TGV 化学湿法蚀刻设备
TGV 化学湿法蚀刻设备
TGV 化学湿法蚀刻设备

采用无氟环保蚀刻药液,依托独家蚀刻配方,温控工艺窗口宽,药液使用寿命长、更换频次低,批量成孔稳定性佳,孔径支持按需精准调控。

● 恒定浓度蚀刻,直径和厚度尺寸与理论值一致

● 温控窗口宽,蚀刻液浓度温度不敏感,一致性好

● 蚀刻后表面粗糙度基本不变

● 满足无氟安全环保、低成本、高效率、高量产需求


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技术参数

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技术参数

加工尺寸 515*510mm,920*730mm 和12寸晶圆可选
孔径大小 >1.5um

碱性无机盐蚀刻液,安全环保稳定可控。


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FAQ


晶圆劈裂机设备用于晶圆激光划片后的裂 片工序,全自动化生产,能对镜面、 粗化、PSS 等晶片,背镀金属、DBR 芯片工艺的晶片自动识别并运行, 裂片良率保证在98%以上。

针对大幅面透明脆性材料而开发的切割设备,切割范600mm*700mm。

    本设备主要用于PCB线路板开孔应用,具备全自动上下料与自动翻转设计,采用双平台双头CO2激光对产品正反面进行精密钻孔,具有高速、高精度、兼顾高性价比特点;

本设备是针对钛合金产品进行精密切割、裂片而开发,采用高功率光纤激光,实现非接触式精密切割,切口平整、热变形小,可稳定加工各类钛合金板材与异形件。


针对碳纤维材料而研发的切割设备,对碳纤维,玻纤,凯夫拉,等复合材料的切割,打孔,开槽,可切割厚度0.05-1毫米,显示背板;手机背壳;AR眼镜外壳等。


本设备可实现面板级及晶圆级玻璃基板的百万至千万数量级微孔加工,具备高深宽比,侧壁光滑,垂直度好,低成本等特点。

本设备支持常规字符、一维 / 二维码及 59mm、1018 mm 点阵图案打标。标记字体可基于 SEMI 标准缩放,字符内容灵活自定义,搭载 ID 晶圆边缘打标、DIE 单芯片独立打标双模式,适配晶圆精密标识加工。